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單片濕法制程設備

單片兆聲清洗機

特點:

掩膜版清洗機是一臺整機主要由設備外殼、清洗工位、排風系統、電控系統等組成。包含腐蝕清洗腔控制單元、藥液供給與補充系統、藥液排放與回收系統、電機控制器等單元;機臺具有運行、工藝參數設置、維護及報警查詢等功能,能顯示當前的工藝程序號、工藝步驟、當前旋轉速度、清洗時間等參數;系統還具有報警信息、維護信息等系統記錄;設備臺面右側配置水、氮***功等輔助功能;

清洗能力: 8(12)inch   1 cassette / Batch     25 Pcs/cassette;

產能要求: 濕法制程清洗工藝XXXX  Pcs /月(按照30min/Run,50PCS/Run,22小時/天,26天/月計算,預估值);


產品詳情

產品詳情:

全中文操作界面,人工手動將掩膜版安放至腐蝕清洗腔旋轉主軸支架(5寸7寸兼容)卡盤上,工藝時間為15 min /批或30min/批,工藝時間可調;

確認防護隔離門及設備操作門到位后啟動起始按鈕,執行設定好的操作流程,清洗臂A旋轉搬運至掩膜版正上方后(與清洗腔內下方的噴管同步完成或獨立完成動作)執行設定動作;首先噴灑酸液(時間可設定,掃描路徑可設定),再噴灑堿液(時間可設定,掃描路徑可設定),再噴灑DI(時間可設定,掃描路徑可設定),清洗臂A根據工藝流程回旋至原點位置等待;

刷洗臂B隨即旋轉搬運至掩膜版正上方后(與清洗腔內下方的噴管同步完成或獨立完成動作)開始刷洗動作(時間可設定,掃描路徑可設定),完成設定動作后恢復至原點位置等待;

N2噴淋管啟動同時配合腐蝕清洗腔旋轉主軸高速旋轉完成干燥工藝步驟;

全部清洗工藝動作完成后旋轉主軸停機等待并報警提示;

規格特點:

項目

說明

機臺型號

CGB-MC-XX;

機臺重量

XX;

清洗能力

5   inch  7 inch  標準掩膜版(光刻版/光罩);

處理方式

單片處理   人工手動取放片;

設備形式

室內放置型(潔凈度:千級潔凈室)

機臺封面、主要結構材質

聚丙烯磁白PP 10T;

機臺視窗

材質

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC  5T;

左右推拉式;

機臺主機強度結構

整體SUS304不銹鋼結構骨架;

防漏盤

材質

聚丙烯磁白PP板材;

模式

分體式  每側尺寸比設備本體長50mm;

其它

水平調整

通過地腳調整設備水平;

設備移動

設備裝有樹脂腳輪以備設備移動之用;

臺面板結構

¢12mm左右洞洞結構   PP板材;

漏液檢測裝置

防腐材質;單點式;

模式

可拆式;

排風系統

排風口位置

設備后頂部;

排風通道結構

排風強勁合理設計,為了排風效果達到最佳,排風通道內設有風量導流板;

為了方便操作人員根據情況及時調節排風量,操作人員可小范圍調節機臺排風背板上的可拆卸式(以便清除可能產生的結晶)排風柵欄再配合機臺視窗上的可調進氣模塊使用達到最佳使用效果;

設備排風通道的底部帶排液管,冷凝回流的廢液通過管道排放至機臺U型濕區內并排放至機臺后方廠務廢水專用管道內;

功能

可以將清洗工藝過程中產生的氣體、氣味排走。

機臺的電控系統

安裝在機體的后部; 觸摸屏及電源控制開關、照明等安裝在設備正前方。各槽體的工藝過程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設備具有上電手動操作復位功能。每個機臺可存儲X套工藝配方,操作者可通過觸摸屏調用預先編制好的工藝配方。軟件系統具有工藝配方參數設定、手動維護、自動運行、狀態監控等畫面。軟件具有報警信息、歷史記錄、維護信息等系統記錄。軟件系統具有3級加密進入權限設置:分別為設備作業員、設備工程師、工藝工程師,不可混用權限;


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