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槽式濕法制程設備

全自動槽式超薄片清洗機

特點:

生產主線為:腐蝕槽1、沖水槽2、輕刻槽3、沖水槽4、上下料臺,共4個清洗工位。右進右出設備。本設備電器控制部分關鍵件均采用進口優質件,性能可靠,使用壽命長;及背部設有吸風口,為防止污染空氣,用戶需外接風管抽風。本機臺是一個人機界面(觸摸屏)加PLC控制的全自動控制系統,操作者只須將清洗花籃放置于上下料工位上,再由PLC控制機械手將花籃輸送到各個工位,按照事先輸入的程序對晶片進行各工藝處理。

清洗能力:6 inch  8inch   2 cassette / Batch     25 Pcs/cassette;

圓片厚度范圍:6寸:150微米-300微米;8寸:150微米-300微米;




產品詳情

產品詳情:

項目

說明

機臺型號

CGB-WBXX-XXXX;

機臺數量

1臺(套);

機臺重量

XX;

清洗能力(采購方提供cassette樣品)

6 inch  8inch   2 cassette / Batch     25 Pcs/cassette; 片盒采購方提供;

圓片厚度范圍

6寸:150微米-300微米;8寸:150微米-300微米;

片架

6寸8寸為25片標準片架,8吋卡塞型號:192A型;

功能

本設備為全新設備,用于6吋和8吋超薄片硅腐蝕、HF處理、純水沖水;

產能要求

濕法制程清洗工藝XXXX    Pcs /月(按照30min/Run,50PCS/Run,22小時/天,26天/月計算,預估值);

設備形式(潔凈度:千級潔凈室)

室內放置型   ;

機臺封面、主要結構材質

聚丙烯磁白PP ();

阻燃聚丙烯PP();

阻燃米黃色聚氯乙烯PVC(√);

SUS304單鏡面板材(); 

機臺視窗

材質

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC (√);

SUS304單鏡面板材及鋼化玻璃()   ;

模式

上下舉升式();

單(雙)門對開式();

左右推拉式(√);

機臺主機強度結構

碳鋼結構骨架;

防漏盤

材質

聚丙烯磁白PP板材;

模式

分體式  每側尺寸比設備本體長50mm;

漏液檢測裝置

材質

防腐材質;

點式

單點式;

其它

水平調整

通過地腳調整設備水平;

設備移動

設備裝有樹脂腳輪以備設備移動之用;

臺面板

材質

¢12mm左右洞洞結構   聚丙烯磁白PP板材();

¢12mm左右洞洞結構   阻燃聚丙烯PP板材();

¢12mm左右洞洞結構   阻燃米黃色聚氯乙烯PVC板材(√);

相鄰槽之間須有接水板,接水板須傾斜放置,用以盛接花籃經過時漏液();

¢12mm左右洞洞結構   SUS304單鏡面板材();

模式

可拆式(√);

一體式();

排風系統

排風口位置

設備后頂部(√);

設備后下部();

設備后部();

排風通道結構

1.排風強勁合理設計,為了排風效果達到最佳,排風通道內設有風量導流板;

2.為了方便操作人員根據情況及時調節排風量,操作人員可小范圍調節機臺排風背板上的可拆卸式(以便清除可能產生的結晶)排風柵欄再配合機臺視窗上的可調進氣模塊使用達到最佳使用效果;

2.設備排風通道的底部帶排液管,冷凝回流的廢液通過管道排放至機臺U型濕區內與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機臺后方廠務廢水專用管道內;

機臺的電控系統

安裝在機體的后部; 觸摸屏及電源控制開關、照明等安裝在設備正前方。各槽體的工藝過程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設備具有上電手動操作復位功能。每個機臺可存儲X套工藝配方,操作者可通過觸摸屏調用預先編制好的工藝配方。軟件系統具有工藝配方參數設定、手動維護、自動運行、狀態監控等畫面。軟件具有報警信息、歷史記錄、維護信息等系統記錄。軟件系統具有3級加密進入權限設置:分別為設備作業員、設備工程師、工藝工程師,不可混用權限;

工藝記錄儲存類型

工業條碼槍+PLC+觸摸屏

使用程序時刷條碼確認程序,完成生產工藝中參數及工藝步驟等詳細記錄存儲,便于采購方對生產產品品質管控; 程序運行記錄可定時存儲,存儲數據類型參考如下:程序號、操作者、槽體溫度、設定時間、運行時間、報警信息等(待定)。

規格特點:
01)工藝說明: 自動傳動,自動方式實現槽體間傳送工件,手臂按照菜單選擇流程作業,生產部人員選取菜單進行作業,這個過程全自動進行;
02)全程自動化控制,工藝過程中沒有人工干預,保證產品性能的一致性;
03)搬運機械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達,閉環控制,定位精度≤1mm,可靠性高;采用雙導軌結構及線性模塊傳動,幾何曲線加減速運動,沖擊小、運動平穩;
04)搬運機械手臂單獨急停、暫停開關、系統急停開關和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護,確保操作者的安全;
05)溢流工藝的應用,保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度;

06)工藝柔性化設計,工藝更改方便迅速;多工藝數據庫,可供用戶使用和存儲;

07)整機在使用、運行過程中平穩、可靠、不產塵、無溢出油污等;

08)整機采用PLC控制,觸摸屏顯示,清洗槽定溫控制,過溫保護及超(兆)聲低液位保護;

09)整機采用全封閉設計。設備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便;

10)整機耐酸堿溶液及揮發氣體的腐蝕,電器元件正常安全使用;

11)機臺設有緊急停止回路(EMO急停按鈕,設備兩端各一個),并按照標準設置接地保護斷路器;

12)整機前后區隔離,底板傾斜設計,便于排液,最低處設有漏液報警,前后區域均設水槍,確保漏液及時沖洗;

13)清洗槽體及管路配有明顯標識或防錯設計,防止溶劑混用;

14)設計合理化的排風管路,使酸堿液揮發氣體的污染最小化;

15)設備內部輸水、輸氣管道管線布置于主體設備內部;

16)工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式,需采用四面溢流;如果無法實現,至少需要三面溢流;

17)軟件具有防呆功能;

18)搬運機械手臂設有防夾防撞預警裝置(光電傳感器、機械傳感器、機械裝置等),以保護操作人員安全;

19) 設備后方、左右兩側需留有方便維護、維修的窗口;

20) 機臺上下料區配水***2把;

21) 機臺排風口處安裝排風壓力監測裝置(帶信號報警裝置);

22) 機臺總進口處(N2或CDA)安裝有壓力監測裝置(帶信號報警裝置);

23) 工藝槽槽底傾斜式,便于排空;

24) Cassette transfer time < 5sec;

25) 機臺電器部分具備正壓N2保護,防止腐蝕;

26)具有作業記錄功能,可以 USB 接口 U 盤調取,配置攝像頭,并配置硬盤用于視頻保存,視頻保留時間不少于 30 天;

27)兩個藥業槽工藝時間到后有聲光提示;

28)機臺地腳做防腐處理:1.噴防腐漆,2.增加PP防護盒;

29)供液系統人工換桶時防止廢液回流,加裝收集桶;

30)機臺具備漏液監測功能,如發生漏液報警時自動關閉排液功能;

31) Cassette搬運使用工裝方式;


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