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槽式濕法制程設備

全自動有機清洗機

有機清洗機生產主線為:上料臺、ACE1槽1、ACE2槽2、METH槽3、QDR槽4、QDR槽5、IPA槽6、HOT N2槽7、下料臺,共6個制程工位。本設備電器控制部分關鍵件均采用進口優質件,性能可靠,使用壽命長;頂部及背部設有吸風口,為防止污染空氣,用戶需外接風管抽風。本機臺是一個人機界面(PC)加PLC控制的自動控制系統,操作者只須將花籃放置于工裝上,再由PLC控制機械手將花籃輸送到各個工位,按照事先輸入的程序對晶片進行各工藝處理。

產品詳情

項目

說明

清洗能力(采購方提供cassette樣品)

4inch   4 cassette / Batch    25 Pcs/cassette;6inch   2 cassette / Batch    25 Pcs/cassette;

設備形式(潔凈度:千級潔凈室)

室內放置型 ;

機臺封面、主要結構材質

SUS304單鏡面板材;

機臺視窗

材質

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC ;

模式

單開式 ;

機臺主機強度結構

整體SUS304不銹鋼結構骨架;

防漏盤

材質

聚丙烯磁白PP板材;

模式

分體式    每側尺寸比設備本體長50mm;

漏液檢測裝置

材質

防腐材質;

點式

單點式;

其它

水平調整

通過地腳調整設備水平;

設備移動

設備裝有樹脂腳輪以備設備移動之用;

臺面板

材質

¢12mm左右洞洞結構   SUS304單鏡面板材;

模式

可拆式 ;

排風系統

排風口位置

設備后頂部 ;

排風通道結構

1.排風強勁合理設計,為了排風效果達到最佳,排風通道內設有風量導流板;

2.為了方便操作人員根據情況及時調節排風量,操作人員可小范圍調節機臺排風背板上的可拆卸式(以便清除可能產生的結晶)排風柵欄再配合機臺視窗上的可調進氣模塊使用達到最佳使用效果;

3.設備排風通道的底部帶排液管,冷凝回流的廢液通過管道排放至機臺U型濕區內與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機臺后方廠務廢水專用管道內;

機臺的電控系統

安裝在機體的后部; 觸摸屏及電源控制開關、照明等安裝在設備正前方。各槽體的工藝過程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設備具有上電手動操作復位功能。每個機臺可存儲X套工藝配方,操作者可通過觸摸屏調用預先編制好的工藝配方。軟件系統具有工藝配方參數設定、手動維護、自動運行、狀態監控等畫面。軟件具有報警信息、歷史記錄、維護信息等系統記錄。軟件系統具有3級加密進入權限設置:分別為設備作業員、設備工程師、工藝工程師,不可混用權限;

 

工藝記錄儲存類型

工業條碼槍+PLC+工控機

使用程序時刷條碼確認程序,完成生產工藝中參數及工藝步驟等詳細記錄存儲,便于采購方對生產產品品質管控; 程序運行記錄可定時存儲,存儲數據類型參考如下:程序號、操作者、槽體溫度、設定時間、運行時間、報警信息等(待定)。全部為PC操控、各種log、alarm信息記錄、自動帶當功能、聯網上拋功能、操作記錄,不能刪除記錄。

      


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